TY - CONF T1 - Analysis Of Phosphorus Diffusion In the Polysilicon/Oxide/Silicon System Under Oxidizing Conditions For Profile Simulation PY - 1998/11/01 AU - Gaiseanu F AU - Tsoukalas D AU - Tsamis C AU - Stoemenos J AU - Dimitriadis CA AU - Vasilaki E ED - Y2 - 2025/06/20 ER -